第２回講習会
第２回講習会「Ｘ線反射率法による薄膜・多層膜の解析」を次の通り開催することになりました。ホームーページも用意しております。
http://xray-neutron-buried-interface.jp/TutorialXRR2008March.htm
○今回は１日で実施します。
○午前（講義、相談デスク）の会場は、第１回講習会と同じ場所（大きな会場）
です。
○午後（実習）の会場は、３会場とも４０名程度定員の通常の会議室になります。
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第２回講習会「Ｘ線反射率法による薄膜・多層膜の解析」
主催 (社)応用物理学会 埋もれた界面のＸ線・中性子解析グループ
（http://xray-neutron-buried-interface.jp/）
日時 2008年３月２６日（水） （春の応用物理の１日前）
場所 （独）物質・材料研究機構千現地区
（〒305-0047 茨城県つくば市千現 1-2-1 電話 029-859-2000）
http://www.nims.go.jp/jpn/visiting/tsukuba.html最寄り駅 つくばエクスプレス線 つくば駅 南へ徒歩８分
http://www.mir.co.jp/
Ｘ線反射率法は、薄膜・多層膜の深さ方向の内部構造、具体的には、各層の膜厚、
密度、各界面のラフネス等を非破壊的に求めることができる解析技術です。本講
習会では、Ｘ線反射率法の経験豊富な専門家を講師陣に迎え、基礎から丁寧に解
説を行うとともに、シミュレーションやデータ解析の実習を少人数のグループに
て、きめ細かく行ないます。 休憩時間には「Ｘ線反射率相談デスク」を設け、
日頃の疑問に思っていること、質問したくてもなかなかできなかったことに、５～
６名の専門家がお答えします
カリキュラム
08:20 開場、受付開始
08:45 -09:10 Ｘ線反射率法とは 桜井健次（物材機構）
09:10 -10:00 Ｘ線反射率法の基礎 ー 原理、測定法、データ解析法 上田
和浩（日立）
10:00 -10:30 Ｘ線反射率法のデータ解析 有機エレクトロニクス分野への適
用事例 林好一（東北大）
10:30 -10:50 休憩 （Ｘ線反射率相談デスク、５箇所設置）
10:50 -11:20 Ｘ線反射率法のデータ解析 半導体・無機材料への適用事例
川村朋晃（日亜化学）
11:20 -11:50 Ｘ線反射率法のデータ解析 ソフトマテリアル薄膜への適用事
例 矢野陽子（立命館）
11:50 -13:00 昼食休憩 （Ｘ線反射率相談デスク、５箇所設置）
13:00 -16:00 反射率法のデータ解析実習 （担当 淡路直樹、表和彦、桜
井健次）
受講者がそれぞれの問題意識にあわせて、データ解析のスキルを習得できる実習
を計画しています。
A. 経験者コース（検討したいデータと ご自分のＰＣを必ずお持ちください。皆
様の解析上の疑問点や不明点を個別指導致します 。このコースは、ご自分のデー
タをご自分で解析されたい方のみ参加できます。）
B. 解析体験コース（ご自分のＰＣをお持ちください。解析体験用の測定データ
を お配りし、実際の解析を体験して頂きます。もし既にお使いのソフトウエア
があればお持ちください。 そのソフトウエアでの解析を体験できます。もしお
持ちでない場合は、こちらで用意したものをお使いください。）
C. 初学者コース（講師が皆様の前でソフトウエアを使い、２～３の事例をもと
に、解析の個々の細かな手順や注意事項を丁寧に解説いたします。 その上で一
部の方には、実際の ＰＣ上での操作も体験していただきます。）
A, B, C のなかでぜひこれはというご希望のある方は、おっしゃってください。
特にない場合も、個別にお話をうかががい、ご相談の上、最適のコースを決めさ
せて頂きます。
教材
「Ｘ線反射率法 入門」（１８８ページ）を参考書として配布するほか、午前の
４件の講義に完全対応したレジュメを用意いたします。
相談
Ｘ線反射率相談デスクを開設致します（５箇所）。
10:30 -10:50 表和彦 淡路直樹 谷克彦 上田和浩 川村朋晃
11:50 -12:25 矢野陽子 淡路直樹 谷克彦 上田和浩 桜井健次
12:25 -13:00 表和彦 桜井健次 谷克彦 上田和浩 川村朋晃
定員
４０名（定員になり次第、締め切ります）
参加申込み
氏名（ふりがな）、所属、住所、TEL、FAX、e-mail、実習コース（A, B, Cの指
定希望があれば） をご連絡下さい。折り返し受付の連絡を致します。
問い合わせ
独立行政法人物質・材料研究機構
量子ビームセンター 放射光解析グループ
桜井健次
TEL 029-859-2821 FAX 029-859-2801
e-mail sakurai@yuhgiri.nims.go.jp
