2016年2月29日

講習会「X線反射率による薄膜・多層膜の解析」(8/25(木), Tsukuba)

昨年8月、5年半ぶりに復活させた講習会、本年も開催いたします。昨年よりも
よい講習会になるよう、講師一同、気を引き締めて準備しております。

ぜひ皆様の周辺の方にお薦めください。受付も開始しております。

よろしくお願いいたします。


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第6回講習会「X線反射率法による薄膜・多層膜の解析」
http://xray-neutron-buried-interface.jp/TutorialXRR2016.pdf

主催 (公社)応用物理学会 埋もれた界面のX線・中性子解析研究会
http://xray-neutron-buried-interface.jp/

日時 2016年8月25日(木)9:00~16:30
場所  国立研究開発法人物質・材料研究機構 千現地区
(〒305-0047 茨城県つくば市千現 1-2-1 電話 029-859-2000)
http://www.nims.go.jp/jpn/visiting/tsukuba.html

最寄り駅 つくばエクスプレス線 つくば駅 南へ徒歩8分
http://www.mir.co.jp/

X線反射率法は、薄膜・多層膜の深さ方向の内部構造、具体的には、各層の膜厚、
密度、各界面のラフネス等を非破壊的に求めることができる解析技術です。本講
習会 では、X線反射率法の経験豊富な専門家を講師陣に迎え、基礎から丁寧に
解説を行うとともにシミュレーションやデータ解析の実習 を少人数のグループ
にて、きめ細かく行ないます。 休憩時間には「X線反射率相談デスク」を設け、
日頃の疑問に思っていること、質問したくてもなかなかできなかったことに、
6名の専門家がお答えします。


08:40      開場、受付開始
09:00 -09:40  X線反射率法とは       桜井健次(物材機構)
09:40 -10:20  X線反射率実験の注意事項   表和彦(リガク)
10:20 -10:30  休憩
10:30 -12:00  X線反射率法のシミュレーション・データ解析実習(A,B,Cコース)
12:00 -13:00  昼食休憩  (12:30-13:00 X線反射率相談デスク、6箇所設置)
13:00 -13:40  X線反射率法のシミュレーション・データ解析実習(A,B,Cコース)
13:40 -14:10  X線反射率データ例① 半導体薄膜  淡路直樹(富士通)
14:10 -14:40 X線反射率データ例② 磁性体多層膜 上田和浩(日立)
14:40 -15:00 X線反射率データ例③ ナノドット  奥田浩司(京大)
15:00 -15:10  休憩
15:10 -15:30 X線反射率データ例④ ガラス転移・接着界面  桜井健次(物材機構)
15:30 -16:00 X線反射率データ例⑤ 先端電子材料 川村朋晃(日亜化学)     


実習は、A. 実践コース (6名まで 数年以上の経験のある方向け 担当 表和彦)、
B.体験コース (12名まで 初心者もしくは経験1~2年の方向け 担当淡路直樹)、
C. 実演見学コース (12名まで 初心者もしくは経験1~2年の方向け 担当 
桜井健次)に分かれて実施します。

A. 実践コース  (担当 表和彦 6名まで)
(検討したい実験データと ご自分のPCを必ずお持ちください。皆様の解析上
の疑問点や不明点を個別指導致します。ご自分のデータをご自分で解析されたい
方のみ参加できます。)
B. 体験コース(担当 淡路直樹  12名まで)
(ご自分のPC(Windows)をお持ちください。実データの解析を体験して頂きま
す。講師が提供するいろいろな問題を考えて頂き、その解決を体感することで、
データ解析のコツを習得できます。ソフトウエアとデータは講習会の数日前にダ
ウンロードできます。)
C. 実演見学コース (担当 桜井健次 12名まで)
(講師が皆様の前でソフトウエアを使い、2~3の実データを例を素材として、
シミュレーションを丹念に行うことの重要性やデータ解析の考え方、個々の細か
な手順、注意事項を解説いたします。) 

実習コースはA, B, C のなか からお選びいただきます。特にご希望のない場合
も、個別にお話をうかががい、ご相談の上、最適のコースを決めさせて頂きます。
なお、当日になってからのコース変更はできません。ご注意ください。

教材
「X線反射率法入門」(講談社、5940円)を参考書として配布するほか (ご希
望があれば、着払い宅急便にて事前送付も致します)、すべての講義に完全対応
したレジュメを用意いたします。


定員 
30名

参加申込み
氏名(ふりがな)、所属、住所、TEL、FAX、e-mail、 実習コース(A, B, C)の
ご希望をご連絡下さい。折り返し受付の連絡をいたします 。

国立研究開発法人物質・材料研究機構
量子ビームユニット 高輝度光解析グループ 
桜井健次
TEL 029-859-2821 FAX 029-859-2801

2015年8月27日

第5回講習会終了

おかげさまで、5年半ぶりのX線反射率法講習会を終了することが出来ました。

ご協力いただいた講師ならびに準備関係のご協力を頂いた全関係者の皆様、どうも有難うございました。

以下、アンケートのサマリです。

今後ともよろしくお願いいたします。


アンケート結果サマリ
====================
受講申込み受付総数 30 (第1回63 第2回50、第3回30、第4回27)
取り消し       1 (第1回1、第2回1、第3回0、第4回1)
欠席         0 (第2回2、第3回1、第4回0)
出席者数      29 (第2回47、第3回29、第4回26)

実習コース分け
       A 3名  B  7名  C 19名 合計29名
      当日のコース変更をOKにしたら、予想を超える変更があった
  (第2回 A 6名  B 18名  C 20名 合計46名)
  (第3回 A 6名  B  7名  C 16名 合計29名)
  (第4回 A 3名  B  5名  C 17名 不参加 1名 合計26名)

アンケート回答数  28 (回収率96.6%)
         (第2回93.6%、第3回96.6%、第4回96.2%)

満足度分布(10点満点)
 10 0名、9 3名、8 12名、7 6名、6 2名、5 1名
 無回答 4名
 無回答を除いた24名の平均 7.58

(参考)第4回
 10 4名、9 6名、8 4名、7 3名、6 1名、5 2名
 無回答 5名
 無回答を除いた20名の平均 8.15

(参考)第3回
 10 4名、9 5名、8 7名、7 4名、6 2名、4 1名
 無回答 5名
 無回答を除いた23名の平均 8.04
 なお、無回答5名のうち2名が「中級編受講希望」と記入

(参考)第2回
 10 4名、9 5名、8.5 1名、8 16名、7 9名、
  5 1名、3 1名、2 1名、無回答 6名
 無回答を除いた38名の平均 7.75
 なお、無回答6名のうち3名が「再受講したい」と記入

講義内容について
「とても難しかった」と「難しかった」をあわせて70%を超え、過去4回と比
較しても難しかったようだ。「やさしかった」は皆無。

実習内容について
「普通」が82%。「難しかった」と「やさしかった」も少数ながらあった。

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アンケート結果についての桜井の私見

○過去の第1~4回に続き、高い回収率であり、詳しいコメントが書かれた
ものもある。受講者は真摯に回答したと考えられ、また回答内容は至極
もっともに思える。謙虚に受け止め、将来に生かすべき。

○今回のアンケートでの受講者の平均満足度は(大きな差ではないが)過
去最低である。講義内容を難しかったと感じた受講者が圧倒的に多いこと
と関係がりそうに思う。この点は、過去の講習会でも何度か問題になって
おり、これからX線反射率法を覚えて使えるようになろうと思って講習会に
参加している受講者に対して、まず習得すべき基礎知識や各種の注意事
項を伝えるすることに成功していないことを認めなくてはいけない。「X線反
射率法入門」の書籍の草稿を書いていた頃の議論内容を思い出す。それ
ぞれの講師も、5年半のブランクでなかなか感覚を取り戻せないもどかしさ
を感じながら、よく努力して準備したと思うが、これまで以上に入門者にとっ
て助けになる、もっと有用な工夫を導入する必要がある。たった1日の講習
会なので、どのみち多くのことを一度には伝えられない。盛り沢山な内容を
短い時間に圧縮して詰め込むようなスタイルはよくないと戒めていたはず
が、どうも今回、うまくできなかったようだ。毎回反省しているが、今後も改
良を続ける必要あり。

○実習は、受講者自身がPCとソフトウエア、自ら解決したい課題とデータを
持ち込むAコース、受講者はPCのみを持参し、講師が解析ソフトウエアと課
提供して解析を体験するBコース、受講者はPCなどを持参しなくても
よく、講師がシミュレーションや解析の実演や解説をするCコースがあり
ほぼ毎回同じスタイルを踏襲している。しかし、この間、社会環境の変化が
あり、Aコース希望でも、会社のソフトウエアを講習会の会場に持ち出すこと
が容易ではない、Bコースでは配布するソフトウエアをUSBでは受け取る
ことができないなどの問題が起きた。今後は、方法の工夫が必要である。
Bコースでは、講習会の1週間前から研究会Webサイトから事前ダウンロ
ードできるような仕組みにできないか検討したい。

○実習は、本講習会の大きな特色であり、通常の講義では伝えにくい実践
的な識、技術を効果的に説明して習得してもらう機会である。特に実践を
伴うA,Bコースはうまくいけばよい成果につながる。マンツーマン体制に近い
Aコースは伝統的に好評で、今回も人数が少なかったことは、むしろ受講者の
利益につながったと考えられる。人数が6名を超えて増えた場合、対応は
容易ではないが、特色ある企画であり、今後も継続が望まれる。Cコース
では、今回も経験のある人と本当の入門者が混在して参加していた。A,B、
Cのコースの切り分けがファジーであることの悪い面は、体験以前の内容を
習得したい受講者がおいていかれるような結果を生むことである。切り分け
方法は未解決であり、第5回目でもまだうまくいっていない。

○相談デスク(午前の休憩時間と昼休み)は、利用者数は以前の講習会に
比べ少なかったが、特段の理由があるわけでもないようだ。

○講義、実習、相談デスクについて、不十分点がなお残るとしても、何よりも長
いブランクを乗り越えて講習会を再開することができたことの意義は大きい。
多様な受講者のニーズにどうこたえるかは永遠のテーマであるかもしれないが、
諦めることなく、来年の次回は、今回よりもよりよい講習会にする努力を継続。

○開催場所を第4回東京から第3回以前のつくば千現に戻した。会場準備は容易
になったが、多くの受講者は遠方からこんな不便なところにやってくるのだか
ら、プログラムは、無駄のないように構成するべき。前回までにはなかった要
因として、守衛所での受付や面会票へのサインなどで時間がとられることも今
後計算にいれるべき。

○第6回講習会にむけて
・既に日時、会場は決定。来年8月最終週、場所はつくば千現。実習は3コース
維持するが、1Fの2部屋に集約予定。
・開催規模は今後も受講予定者数30名、講師6名程度で考える。受講費はリピー
ター割引きを導入。ただし、リピーター云々以前に、講習会の本来の意義(何
のためにやっているのか)に立ち返り、もっと入門者にとって有益、有用なカ
リキュラム・内容にする努力がまず重要。

2015年1月11日

講習会「X線反射率による薄膜・多層膜の解析」再開決定

2010年3月以来休んでいた講習会「X線反射率による薄膜・多層膜の解析」を再開する運びなりました。
本講習会は、X線反射率法入門」(講談社, 2009年)の出版にかかわった主要著者が、そのまま講師でもあるところに特色のある講習会で、過去に4回開催されております。
第5回にあたる次回講習会は、来年2015年の8月27日(木)につくばで開催します
もし皆様の周辺で、ご関心のある方がおられましたら、ぜひお薦め頂けると幸甚です。
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第5回講習会「X線反射率法による薄膜・多層膜の解析」
主催 (社)応用物理学会 埋もれた界面のX線・中性子解析研究会
日時 2015年8月27日(木)
場所  独立行政法人物質・材料研究機構 千現地区
(〒305-0047 茨城県つくば市千現 1-2-1 電話 029-859-2000
最寄り駅 つくばエクスプレス線 つくば駅 南へ徒歩8分
X線反射率法は、薄膜・多層膜の深さ方向の内部構造、具体的には、各層の膜厚、密度各界面のラフネス等を非破壊的に求めることができる解析技術です。本講習会 では、X線反射率法の経験豊富な専門家を講師陣に迎え、基礎から丁寧に解説を行うとともに、シミュレーションやデータ解析の実習 を少人数のグループにて、きめ細かく行ないます。 休憩時間には「X線反射率相談デスク」を設け、日頃の疑問に思っていること、質問したくてもなかなかできなかったことに、 6名の専門家がお答えします。
08:30      開場、受付開始
09:00 -09:10  X線反射率法とは       桜井健次(物材機構)
09:10 -10:00  X線反射率法の基礎      淡路直樹(富士通)
10:00 -10:40  X線反射率 の測定装置・方法  表和彦(リガク)
10:40 -11:00  休憩  (X線反射率相談デスク、6箇所設置)
11:00 -11:40  X線反射率法 の応用① 
           半導体・電子材料への応用 川村朋晃(日亜化学)          
11:40 -12:20 X線反射率法の応用② 
           磁性体多層膜への応用  上田和浩(日立)
12:20 -13:20  昼食休憩  (X線反射率相談デスク、6箇所設置)
13:20 -14:00  反射小角散乱法による材料研究  奥田浩司( 京大)
14:00 -16:30  X線反射率法のデータ解析実習
A. 経験者コース  (担当 表和彦 6名程度まで)
(検討したいデータと ご自分のPCを必ずお持ちください。皆様の解析上の疑問点や不明点を個別指導致します 。このコースは、ご自分のデータをご自分で解析されたい方のみ参加できます。)
      B. 解析体験コース (担当 淡路直樹  12名程度まで)
(ご自分のPCをお持ちください。解析体験用の測定データを お配りし、実際の解析を体験して頂きます。もし既にお使いのソフトウエアがあればお持ちください。 そのソフトウエアでの解析を体験できます。もしお持ちでない場合は、こちらで用意したものをお使いください。)
      C. 初学者コース (担当 桜井健次 12名 程度まで)
(講師が皆様の前でソフトウエアを使い、2~3の事例をもとに、解析の個々の細かな手順や注意事項を丁寧に解説いたします。 使用するデータ等の電子ファイルはCコース受講者全員に配布します。一部の方には、実際の PC上での操作も体験していただきます。) 
実習コースはA, B, C のなか からお選びいただきます。特にご希望のない場合も、個別にお話をうかががい、ご相談の上、最適のコースを決めさせて頂きます。
教材
「X線反射率法入門」(講談社、5940円)を参考書として配布するほか (ご希望があれば、着払い宅急便にて事前送付も致します)、すべての講義に完全対応したレジュメを用意いたします。
定員 
30名
参加申込み
氏名(ふりがな)、所属、住所、TEL、FAX、e-mail、 実習コース(A, B, C)のご希望をご連絡下さい。折り返し受付の連絡をいたします 。
独立行政法人物質・材料研究機構
量子ビームユニット 高輝度光解析グループ 
桜井健次
TEL 029-859-2821 FAX 029-859-2801

2010年3月17日

第4回講習会終了

おかげさまで、無事に第4回のX線反射率法講習会を終了することが出来ました。
ご協力いただいた講師ならびに準備関係のご協力を頂いた全関係者の皆様、どうも有難うございました。

アンケート結果サマリ
====================
受講申込み受付総数 27 (第1回63 第2回50、第3回30)
取り消し       1 (第1回1、第2回1、第3回0)
欠席         0 (第2回2、第3回1)
出席者数      26 (第2回47、第3回29)

実習コース分け
       A 3名  B  5名  C 17名 不参加 1名 
                          合計26名
  (第2回 A 6名  B 18名  C 20名 合計46名)
  (第3回 A 6名  B  7名  C 16名 合計29名)

アンケート回答数  25 (回収率96.2%)
             (第2回93.6%、第3回96.6%)

満足度分布(10点満点)
 10 4名、9 6名、8 4名、7 3名、6 1名、5 2名
 無回答 5名
 無回答を除いた20名の平均 8.15

(参考)第3回
 10 4名、9 5名、8 7名、7 4名、6 2名、4 1名
 無回答 5名
 無回答を除いた23名の平均 8.04
 なお、無回答5名のうち2名が「中級編受講希望」と記入

(参考)第2回
 10 4名、9 5名、8.5 1名、8 16名、7 9名、
  5 1名、3 1名、2 1名、無回答 6名
 無回答を除いた38名の平均 7.75
 なお、無回答6名のうち3名が「再受講したい」と記入

講義内容について
「難しかった」と「やさしかった」と意見が分裂する傾向が、過去3回以上に目立つ。また、複数の講義の間での重複があり、整理したほうがよいとの指摘もある。

実習内容について
マン・ツー・マンの体制をとることができた経験者コースはたいへん好評。

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2009年5月22日

第3回講習会終了

おかげさまで、無事に第3回のX線反射率法講習会を終了することが出来ました。
ご協力いただいた講師ならびに準備関係のご協力を頂いた全関係者の皆様、どうも有難うございました。

アンケート結果サマリ
====================
受講申込み受付総数 30 (第1回63 第2回50)
取り消し       0 (第1回1、第2回1)
欠席         1 (第2回2)
出席者数      29 (第2回47)

応用編コース分け
  半導体・磁性体薄膜 16名  有機薄膜 13名
実習コース分け
      A 6名  B  7名  C 16名 合計29名
 (第2回 A 6名  B 18名  C 20名 合計46名)

アンケート回答数 28 (回収率96.6% 第2回93.6%)

満足度分布(10点満点)
 10 4名、9 5名、8 7名、7 4名、6 2名、4 1名
 無回答 5名
 無回答を除いた23名の平均 8.04
 なお、無回答5名のうち2名が「中級編受講希望」と記入

(参考)第2回
 10 4名、9 5名、8.5 1名、8 16名、7 9名、
  5 1名、3 1名、2 1名、無回答 6名
 無回答を除いた38名の平均 7.75
 なお、無回答6名のうち3名が「再受講したい」と記入

講義内容について
「普通」が最多の18(64%)で、第1,2回よりも「難しかった」「とても難しかった」の比率が大幅に減少
リピーターの人から「昨年よりも分かりやすかった」というコメントもあり。

ただし、受講者の持っている知識、背景は、依然、多様であり、これだけ改良の努力をしても、まだ難しい、基礎的な事項の説明がほしいというコメントがある。


中級編(計画中)受講希望者数 7 (25%)

(参考)
 再受講希望者数   第1回10、第2回15

東京都心開催希望 20 (71.4%)
つくば開催希望   3 (10.7%)

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2009年4月17日

第3回講習会(May 22, Tsukuba)

来月に予定している講習会の案内です。

第3回講習会「X線反射率法による薄膜・多層膜の解析」
http://xray-neutron-buried-interface.jp/TutorialXRR2009.htm

主催 (社)応用物理学会 埋もれた界面のX線・中性子解析研究会
http://xray-neutron-buried-interface.jp/
日時 2008年5月22日(金)
場所 (独)物質・材料研究機構千現地区
(〒305-0047 茨城県つくば市千現 1-2-1 電話 029-859-2000)
  http://www.nims.go.jp/jpn/visiting/tsukuba.html
  最寄り駅 つくばエクスプレス線 つくば駅 南へ徒歩8分
  http://www.mir.co.jp/

X線反射率法は、薄膜・多層膜の深さ方向の内部構造、具体的には、各層の膜厚、
密度、各界面のラフネス等を非破壊的に求めることができる解析技術です。本講
習会では、X線反射率法の経験豊富な専門家を講師陣に迎え、基礎から丁寧に解
説を行うとともに、シミュレーションやデータ解析の実習を少人数のグループに
て、きめ細かく行ないます。 休憩時間には「X線反射率相談デスク」を設け、
日頃の疑問に思っていること、質問したくてもなかなかできなかったことに、7
名の専門家がお答えします

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2009年1月13日

「X線反射率法入門」刊行予定

過日の第1回会合にご参加の皆様には既にご案内済みですが、本研究会関係者13名の執筆による「X線反射率法入門」は、2月第1週に全国書店の店頭にならぶ予定であります。Amazon.co.jp や Yahoo Books、7&Y などからも注文できますので、ご関係の皆様にはぜひお薦めくださいませ。

講談社が作った宣伝用チラシが下記にありますので、ご利用ください。
http://xray-neutron-buried-interface.jp/XRRBook.pdf
なお、5月22日開催の第3回講習会参加者は、本書を参考書として自動的に受け取ることができ、追加購入も1冊5000円でできる特典があります。

よろしくお願いいたします。

2008年12月25日

第3回講習会

第3回講習会「X線反射率法による薄膜・多層膜の解析」を次の通り開催することになりました。

次のホームページにも案内を出しております。
http://xray-neutron-buried-interface.jp/TutorialXRR2009.htm

ご関心のある方、ぜひいらしてください。

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2008年4月24日

書籍出版(続報)

「X線反射率法入門」(仮題)出版についての続報です。どんどん話は具体的になってきました。出版社(講談社サイエンティフィク)側の意向は、初版は800~1000部印刷、店頭での価格は5000円(税込5250円)ということです。初版の50%を買い取る計画です。

今月中に覚書を締結する予定でいます。

現状の講習会冊子バージョンにはない新規部分の執筆や、すでにあるものについても点検、改訂等の作業をこれから本格的に進めることになります。

関係者の皆様には、せっかく出すのですからぜひよい本になるよう、ご協力をお願いいたします。

また、その次の企画(Journal of Physics: Condensed Matter 誌の論文クラスター)についても、熱心なお問い合わせを頂き、有難うございます。自分も書こうという方は、まだまだ間に合いますので、ぜひ積極的にお願いいたします。実作業は、まずは「X線反射率法入門」の刊行を終えてからになりますが、それでも来年のことですので、それほど先ではありません。どうぞよろしくお願いいたします。

2008年3月27日

第2回講習会終了

おかげさまで、無事に第2回のX線反射率法講習会を終了することが出来ました。
ご協力いただいた講師ならびに準備関係のご協力を頂いた全関係者の皆様、どうも有難うございました。

アンケート結果サマリ
====================
受講申込み受付総数 50 (第1回63 但し2日間)
出席者数      47
(実習参加者数   46)
実習コース分け(名簿として記録に残ったもの)
          A 6名  B 18名  C 20名
アンケート回答数  44 (回収率93.6%)
         (第1回は回収率85%)

満足度分布(10点満点)
 10 4名、9 5名、8.5 1名、8 16名、7 9名、
  5 1名、3 1名、2 1名、無回答 6名
 無回答を除いた38名の平均 7.75
 なお、無回答6名のうち3名が「再受講したい」と記入

再受講希望者数   15 (34%)
(第1回は10名)

◎散見されたコメント等
 ・講義が難しかった、とても難しかった、とするものが依然ある。もっと基礎的な内容への要望があるようだ。
 (今回、相当に努力もして改良もしたのに)
 ・1件当たりの講義時間が短い、という意見あり。事例の数を増やすより、丁寧に
詳しくやってほしいという観点
 (上の「難しかった」という意見とはまた異なる立場)
 ・1件30分だからよかったという意見もある
 ・配布資料をカラーにしてほしい、という要望あり
 ・専門用語やパラメータの説明を書いてほしい、という要望あり
 ・講義もレベル別にしてはどうか、というコメントあり
 ・「X線反射率法入門」は詳しくて参考になる、というコメントあり
 (ただし、全般に第1回のときのような大きな反響はない)
 ・「X線反射率法入門」への質問を受け付けてはどうか、というコメントあり
 ・X線反射率相談デスクは非常に好評。しかし、常に混雑していていっぱい。1人で長時間独占しているのはけしからん、といった類のコメントが多く見られた。
 ・X線反射率相談デスクの混雑を解消するため、予約制のようなものを導入できないかという意見があった。
 ・X線反射率相談デスクで、人によって答えが違うのであてにならないというコメントを書いた人が1人いた。
 ・実習で、受講者のPC操作体験を導入したことは好評。A,Bとも受講者はおおむね満足のようだ。
 ・実習コースBでは、配布ソフトウエアが1日限定であることへの不満を述べた人が数名いる。他方、使いやすいソフトでよい教材であったというコメントもあった。
 ・実習コースCでは、レジュメがあるとよかった、というコメントあり。
 ・実習コースCでは、WMurexソフトウエアとパラメータの配布の要望あり
 ・測定の実習も含めた講習会を要望
 ・測定装置の見学をしたいという要望あり
 ・会場が都内なら更に参加しやすい、というコメント1件あり
 ・受講費がもっと安ければ更に参加しやすい、というコメント1件あり

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続きを読む "第2回講習会終了"

2007年12月 4日

第2回講習会

第2回講習会「X線反射率法による薄膜・多層膜の解析」を次の通り開催することになりました。ホームーページも用意しております。
http://xray-neutron-buried-interface.jp/TutorialXRR2008March.htm

○今回は1日で実施します。
○午前(講義、相談デスク)の会場は、第1回講習会と同じ場所(大きな会場)
です。
○午後(実習)の会場は、3会場とも40名程度定員の通常の会議室になります。


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第2回講習会「X線反射率法による薄膜・多層膜の解析」

主催 (社)応用物理学会 埋もれた界面のX線・中性子解析グループ
(http://xray-neutron-buried-interface.jp/)

日時 2008年3月26日(水) (春の応用物理の1日前)
場所 (独)物質・材料研究機構千現地区
(〒305-0047 茨城県つくば市千現 1-2-1 電話 029-859-2000)
 http://www.nims.go.jp/jpn/visiting/tsukuba.html最寄り駅 つくばエクスプレス線 つくば駅 南へ徒歩8分
 http://www.mir.co.jp/

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2007年12月 1日

第1回講習会終了

おかげさまで、無事に第1回のX線反射率法講習会(11/29~30)を終了することが出来ました。ご協力いただいた講師、テキスト執筆者、ならび運営、会場関係のご協力を頂いた全関係者の皆様、どうも有難うございました。

以下、アンケート回収結果の簡単なサマリをお送りいたします。

受講申込み受付総数    63
全参加者数        59(申込取消1、欠席3)
第1日目(入門コース)  56
第2日目(応用発展コース)50
アンケート回収数     50(回収率85%)
アンケートからのリピーター想定可能数 10
         (リピーター想定率 17%)

◎一様に好評だったもの
 ・X線反射率相談デスク(4箇所設置)
 ・送付サンプルのX線反射率事前測定(12件受付)
 ・テキスト「X線反射率法入門」
 ・1日目の講義

◎一様にあまり評判が良くなかったもの
 ・2日目の講義
 ・1日目のシミュレーション実習

◎評価が分かれているもの
 ・2日目のデータ解析実習

◎複数の人が指摘している事項
 ・写真撮影や後方での雑談で気が散る
 ・全般に初学者、入門者には難しい
 ・講義のプリントが必要(テキストとは別に必要)
 ・テキストの章間の不均衡
 ・X線反射率相談デスクが常に混雑していていっぱい。デスク数、担当講師
  数を増やすべき。
 ・実習では受講者がPC操作体験も希望
 ・実習では(受付順ではなく)経験レベルや応用分野によりグループ分けすべ

 ・実習会場が狭くて窮屈
 ・実習の1日目と2日目のギャップが激しい(1日目が退屈)
 ・測定の実習をやるものかと誤解していた

◎その他
 ・テキストを追加購入したいとの要望

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2007年7月25日

第1回X線反射率講習会

第1回講習会「X線反射率法による薄膜・多層膜の解析」を次の通り開催いたします。

次のホームページにも案内がございます。
http://xray-neutron-buried-interface.jp/TutorialXRR2007.htm

ぜひお近くの方もお誘いいただけると幸いです。

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講習会「X線反射率法による薄膜・多層膜の解析」

主催 (社)応用物理学会 埋もれた界面のX線・中性子解析グループ
(http://xray-neutron-buried-interface.jp/)
協賛 日本放射光学会他

日時 2007年11月29日(木)~30日(金)
場所 (独)物質・材料研究機構千現地区
   (〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1 http://www.nims.go.jp /)

X線反射率法は、薄膜・多層膜の深さ方向の内部構造、具体的には、各層の膜厚、密度、各界面のラフネス等を非破壊的に求めることができる解析技術です。本講習会は、入門コース(第1日目)と応用・発展コース(第2日目)からなります。

入門コースでは、企業等の研究者・技術者や大学院生で、これから勉強してX線反射率法を使ってみたい方々を、応用・発展コースでは、多少なりとも経験のある方でスキルアップなさりたい方々を対象としておりますが、両コースの通し参加も歓迎いたしております。X線反射率法の経験豊富な専門家を講師陣に迎え、基礎から丁寧に解説を行うとともに、シミュレーションやデータ解析の実習も行ないます。休憩時間には「X線反射率相談デスク」を設け、日頃の疑問に思っていること、質問したくてもなかなかできなかったことに、5~6名の専門家がお答えします。

カリキュラム
第1日目(11月29日(木)) 入門コース
9:00 - 9:30 X線反射率法とは       桜井健次(物材機構)
9:30 -10:20 X線反射率の装置・測定法   表和彦(リガク)
10:20 -10:40 休憩(X線反射率相談デスク)
10:40 -11:30 X線反射率法の半導体薄膜への応用 淡路直樹(富士通)
11:30 -12:00 X線反射率法のソフトマテリアル薄膜への応用 矢野陽子(立命
館大)
12:00 -13:00 昼食休憩(X線反射率相談デスク)
13:00 -13:50 X線反射率法の磁性体多層膜への応用 上田和浩(日立)
13:50 -14:20 休憩(X線反射率相談デスク)
14:20 -16:00 反射率法のシミュレーション実習

第2日目(11月30日(金)) 応用・発展コース
9:00 - 9:10 X線反射率法をどう活用するか    桜井健次(物材機構)
9:10 -10:00 全反射条件下での薄膜のX線回折法  川村朋晃(日亜化学)
10:00 -10:20 休憩(X線反射率相談デスク)
10:20 -11:10 ブラッグ点まわりのX線反射率法による化合物半導体の解析 竹
田美和(名大)
11:10 -12:00 反射小角散乱法によるナノ粒子の解析 奥田浩司(京大)
12:00 -13:00 昼食休憩(X線反射率相談デスク)
13:00 -16:00 反射率法のデータ解析実習
受講者がデータ解析のスキルを習得できる実習を予定しています。
ご希望があれば、あらかじめお預かりした試料について、当日までにこちらで反
射率測定を行い、そのデータ解析を体験して頂くことも可能です。試料をお持ち
の方は、申し込み時にその旨ご連絡下さい。


定員 60名(定員になり次第、締め切ります)

参加申込方法
氏名(ふりがな)、所属、住所、TEL、FAX、e-mail、ご希望のコースをご連絡下さい。折り返し受付の連絡を致します。

連絡先:〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1 物質・材料研究機構 桜井健次
(TEL 029-859-2821、FAX 029-859-2801、sakurai@yuhgiri.nims.go.jp)

2007年6月15日

X線反射率の講習会企画について

3月28日に開催された「反射率法の書籍出版に関する第1回会合」から、だいぶ時間が経ってしまいました。

日時:2007年3月28日(水)18:00~20:00
場所:相模原第一ホテル 会議室
出席者:川村(NTT)、林(東北大)、竹田(名大)、武田(原子力機構東海)、
谷(リコー)、鳥飼(KEK)、矢代(東大)、矢野(立命館大)、表(リガク)、
坂田(JASRI)、桜井、石井、水沢(NIMS)以上敬称略  13名

議事メモ案
http://xray-neutron-buried-interface.jp/record/Meeting070328a.pdf(パスワード設定あり)

詳細は議事メモをご覧頂くとして、この書籍出版を順調に進めるために、出版に先立って講習会を企画するのがよいと考えられ、現在、その方向で次のように企画準備中です。ご意見、ご提案をお待ちしております。

 名称 講習会「X線反射率法による薄膜・多層膜の解析」(仮名称)
 日程 2日 朝9時(または10時)~夕方4時(または5時)(暫定案)
     第1日目 入門コース
     第2日目 応用・発展コース
 会場 未定 (無料のところ。物質・材料研究機構 つくば千現地区等)
   (東京、横浜などで無料の会場があれば、なお望ましい)
 定員 各日50名 (1~2日通し参加も可)
 料金 各コース 1万2000円/人 通し参加2万円 (暫定案)
    (応用物理学会員割引、学生割引を考慮予定)