第３回講習会（May 22, Tsukuba）
来月に予定している講習会の案内です。
第３回講習会「Ｘ線反射率法による薄膜・多層膜の解析」
http://xray-neutron-buried-interface.jp/TutorialXRR2009.htm
主催 (社)応用物理学会 埋もれた界面のＸ線・中性子解析研究会
（http://xray-neutron-buried-interface.jp/）
日時 2008年５月２２日（金）
場所 （独）物質・材料研究機構千現地区
（〒305-0047 茨城県つくば市千現 1-2-1 電話 029-859-2000）
http://www.nims.go.jp/jpn/visiting/tsukuba.html
最寄り駅 つくばエクスプレス線 つくば駅 南へ徒歩８分
http://www.mir.co.jp/
Ｘ線反射率法は、薄膜・多層膜の深さ方向の内部構造、具体的には、各層の膜厚、
密度、各界面のラフネス等を非破壊的に求めることができる解析技術です。本講
習会では、Ｘ線反射率法の経験豊富な専門家を講師陣に迎え、基礎から丁寧に解
説を行うとともに、シミュレーションやデータ解析の実習を少人数のグループに
て、きめ細かく行ないます。 休憩時間には「Ｘ線反射率相談デスク」を設け、
日頃の疑問に思っていること、質問したくてもなかなかできなかったことに、７
名の専門家がお答えします
カリキュラム
08:30 開場、受付開始
09:00 -09:20 Ｘ線反射率法とは 桜井健次（物材機構）
09:20 -10:10 Ｘ線反射率法の基礎 淡路直樹（富士通）
10:10 -11:00 Ｘ線反射率 の測定装置・方法 表和彦（リガク）
11:00 -11:20 休憩 （Ｘ線反射率相談デスク、７箇所設置）
11:20 -12:00 Ｘ線反射率法 の応用①
（ご希望の分野により２グループに分かれて実施）
半導体・磁性体薄膜への応用 川村朋晃（日亜化学）、上田和浩（日立）
有機薄膜への応用 林好一（東北大）、矢野陽子（立命館）
12:00 -13:00 昼食休憩 （Ｘ線反射率相談デスク、７箇所設置）
13:00 -13:40 Ｘ線反射率法の応用②
（２グループに分かれて、午前のつづき）
13:50 -16:30 Ｘ線反射率法のデータ解析実習
A. 経験者コース (担当 表和彦 ８名程度まで)
（検討したいデータと ご自分のＰＣを必ずお持ちください。皆様の解析上の疑
問点や不明点を個別指導致します 。このコースは、ご自分のデータをご自分で
解析されたい方のみ参加できます。）
B. 解析体験コース (担当 淡路直樹 １６名程度まで)
（ご自分のＰＣをお持ちください。解析体験用の測定データをお配りし、実際の
解析を体験して頂きます。もし既にお使いのソフトウエアがあればお持ちくださ
い。そのソフトウエアでの解析を体験できます。もしお持ちでない場合は、こち
らで用意したものをお使いください。）
C. 初学者コース （担当 桜井健次 １６名程度まで）
（講師が皆様の前でソフトウエアを使い、２～３の事例をもとに、解析の個々の
細かな手順や注意事項を丁寧に解説いたします。使用するデータ等の電子ファイ
ルはＣコース受講者全員に配布します。一部の方には、実際のＰＣ上での操作も
体験していただきます。）
X線反射率法の応用の講義は、半導体・磁性体薄膜、有機薄膜のいずれかをお選
びください。実習コースもA, B, C のなか からお選びいただきます。特にご希
望のない場合も、個別にお話をうかががい、ご相談の上、最適のコースを決めさ
せて頂きます。
教材
「Ｘ線反射率法入門」（講談社、5775円）を参考書として配布するほか （ご希
望があれば、着払い宅急便にて事前送付も致します）、午前・午後のすべての講
義に完全対応したレジュメを用意いたします。
相談
休憩時間（合計80分）には、Ｘ線反射率相談デスクを開設致します（７箇所）。
定員
４０名（定員になり次第、締め切ります）
参加申込み
氏名（ふりがな）、所属、住所、TEL、FAX、e-mail、 応用分野（「半導体・磁
性体薄膜」または「有機薄膜」）と実習コース（A, B, C）のご希望をご連絡下
さい。折り返し受付の連絡をいたします。
問い合わせ
独立行政法人物質・材料研究機構
量子ビームセンター 放射光解析グループ
桜井健次
TEL 029-859-2821 FAX 029-859-2801
e-mail sakurai@yuhgiri.nims.go.jp
今後の予定
本講習会は、2009年11月～12月頃に、第4回講習会を計画しております。
第3回講習会参加者の皆様のご意見をうかがいながら、次のような方向で検討を
進めたい考えです。
・開催地をつくばから東京都心部へ
・中級編の新設（第1～3回受講者の希望者対象）
