2019年9月27日

第8回講習会「X線反射率法による薄膜・多層膜の解析」(2020年3/2(月)つくば)

前回からだいぶ間があいてしまいましたが、第8回目になるX線反射率講習会を開催いたします。

ぜひ皆様の周辺の方にお薦めください。受付も開始しております。

よろしくお願いいたします。

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第8回講習会「X線反射率法による薄膜・多層膜の解析」
http://xray-neutron-buried-interface.jp/TutorialXRR2019.pdf

主催 (公社)応用物理学会 埋もれた界面のX線・中性子解析研究会
http://xray-neutron-buried-interface.jp/

日時 2020年3月2日(月)9:00~16:30
場所  国立研究開発法人物質・材料研究機構 千現地区
(〒305-0047 茨城県つくば市千現 1-2-1 電話 029-859-2000)
http://www.nims.go.jp/jpn/visiting/tsukuba.html

最寄り駅 つくばエクスプレス線 つくば駅 南へ徒歩8分
http://www.mir.co.jp/

X線反射率法は、薄膜・多層膜の深さ方向の内部構造、具体的には、各層の膜厚、密度、各界面のラフネス等を非破壊的に求めることができる解析技術です。本講習会 では、X線反射率法の経験豊富な専門家(「新版X線反射率法入門」(講談社2018年刊)の執筆陣)を講師に迎え、基礎から丁寧に解説を行うとともに、シミュレーションやデータ解析の実習 を少人数グループにて、きめ細かく行ないます。 休憩時間には「X線反射率相談デスク」を設け、日頃の疑問、質問したくてもなかなかできなかったことに 6名の専門家がお答えします。


08:40      開場、受付開始
09:00 -09:30  X線反射率法とは        桜井健次(物材機構)
09:30 -10:30  X線反射率実験の注意事項   表和彦(リガク)
10:40 -10:40  休憩
10:30 -12:00  X線反射率法のシミュレーション・データ解析実習
       (実践および経験A,Bコース
12:00 -13:00  昼食休憩  (12:30-13:00 X線反射率相談デスク、6箇所設置)
13:00 -14:00  X線反射率法のシミュレーション・データ解析実習
       (実践および経験A,Bコース
14:00 -14:40  X線反射率データ例① 有機・高分子薄膜 林好一 (名工大)
14:40 -15:10  X線反射率データ例② 先端電子材料   川村朋晃(日亜化学)
15:10 -15:20  休憩
15:20 -16:00  X線反射率データ例③ 磁性薄膜・デバイス 上田和浩(日立)
16:00 -16:30  X線反射率データ例④ 機能薄膜      宮田登(CROSS)
16:30 解散  (17:00まで X線反射率相談デスク、6箇所設置)

実習は、実践コース (約4名 数年以上の経験のある方向け 担当 表和彦)、
体験Aコース (約8名 初心者もしくは経験1~2年の方向け 担当 上田和浩)、
体験Bコース(約8名 初心者もしくは経験1~2年の方向け 担当 桜井健次)
に分かれて実施します。

○実践コース  (担当 表和彦 4名まで)
(検討したい実験データと ご自分のPCを必ずお持ちください。皆様の解析上の疑問点や不明点を個別指導致します。ご自分のデータをご自分で解析されたい方のみ参加できます。)
○体験Aコース(担当 淡路直樹  8名まで)
(薄膜・多層膜の実際に得られたX線反射率データの解析を実演いたします。得られた生データから始め、一段階づつ進め、ご質問などにも回答しながら、最終的に答えを出すところまで、丁寧に解説いたします。)
○体験Bコース (担当 桜井健次 8名まで)
(実データの例を素材とし、多くのシミュレーションを行うことの重要性やデータ解析の考え方、個々の細かな手順、注意事項を解説いたします。使用するソフトウエアとデータは講習会実習時間中、ダウンロードして、ご自分のPCでご覧頂くこともできるようにする予定です。)

実習コースは実践、体験A, Bのなか からお選びいただきます。特にご希望のない場合も、個別にお話をうかががい、ご相談の上、最適のコースを決めさせて頂きます。なお、当日になってからのコース変更はできません。ご注意ください。

教材
「新版X線反射率法入門」(講談社、6804円)を参考書として配布するほか( ご希望に応じ着払い宅急便にて事前送付も致します)、すべての講義に完全対応したレジュメを用意いたします。

定員 

約20名

参加申込み
 下記Webページにて、お申し込みください。
 折り返し、詳細なご連絡をいたします。
   http://xray-neutron-buried-interface.jp/ApplicationXRRschool.html


連絡先  国立研究開発法人 物質・材料研究機構
     先端材料解析研究拠点 桜井健次
  TEL 029-859-2821 FAX 029-859-2801
  e-mail SAKURAI.Kenji@nims.go.jp