秋の応用物理のサマリ
「7.4 量子ビーム界面構造計測」（オーラル７件）
本中分類は、X 線、中性子、電子線等の量子ビームを活用した埋もれた界面の構
造計測に関するあらゆる学術的討論を行うことを目的として2015 年春に設立さ
れ、今回は2 回目にあたる。あいにく関連分野の重要イベントが同じ時期に名古
屋から遠く離れた場所で開催されることとなったため、講演申込みが当初予定の
３分の１以下となった。７件の講演の内訳は、中性子反射率関係３件、SPM・放
射光連携による化学イメージング新技術１件、波面計測による構造イメージング
新技術１件、各種機能デバイス界面評価２件である。講演数が少ないながらも、
いずれもたいへん興味深い講演で、会場からも活発な質疑応答、討論が行われた。
積層構造を持つ超薄膜において、埋もれた層・界面の構造を非破壊的に計測し、
その不均一さを画像化するイメージング技術への期待が高まっている。今回、そ
のような課題を取り上げた講演が比較的多かったことは印象的であり、今後の一
層の発展が期待される。
