講習会「X線反射率による薄膜・多層膜の解析」（8/25(木), Tsukuba）
昨年８月、５年半ぶりに復活させた講習会、本年も開催いたします。昨年よりも
よい講習会になるよう、講師一同、気を引き締めて準備しております。
ぜひ皆様の周辺の方にお薦めください。受付も開始しております。
よろしくお願いいたします。
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第６回講習会「Ｘ線反射率法による薄膜・多層膜の解析」
http://xray-neutron-buried-interface.jp/TutorialXRR2016.pdf
主催 (公社)応用物理学会 埋もれた界面のＸ線・中性子解析研究会
（http://xray-neutron-buried-interface.jp/）
日時 ２０１６年８月２５日（木）9:00～16:30
場所 国立研究開発法人物質・材料研究機構 千現地区
（〒305-0047 茨城県つくば市千現 1-2-1 電話 029-859-2000）
http://www.nims.go.jp/jpn/visiting/tsukuba.html
最寄り駅 つくばエクスプレス線 つくば駅 南へ徒歩８分
http://www.mir.co.jp/
Ｘ線反射率法は、薄膜・多層膜の深さ方向の内部構造、具体的には、各層の膜厚、
密度、各界面のラフネス等を非破壊的に求めることができる解析技術です。本講
習会 では、Ｘ線反射率法の経験豊富な専門家を講師陣に迎え、基礎から丁寧に
解説を行うとともにシミュレーションやデータ解析の実習 を少人数のグループ
にて、きめ細かく行ないます。 休憩時間には「Ｘ線反射率相談デスク」を設け、
日頃の疑問に思っていること、質問したくてもなかなかできなかったことに、
６名の専門家がお答えします。
08:40 開場、受付開始
09:00 -09:40 Ｘ線反射率法とは 桜井健次（物材機構）
09:40 -10:20 Ｘ線反射率実験の注意事項 表和彦（リガク）
10:20 -10:30 休憩
10:30 -12:00 Ｘ線反射率法のシミュレーション・データ解析実習（A,B,Cコース)
12:00 -13:00 昼食休憩 （12:30-13:00 Ｘ線反射率相談デスク、６箇所設置）
13:00 -13:40 Ｘ線反射率法のシミュレーション・データ解析実習（A,B,Cコース)
13:40 -14:10 Ｘ線反射率データ例① 半導体薄膜 淡路直樹（富士通）
14:10 -14:40 Ｘ線反射率データ例② 磁性体多層膜 上田和浩（日立）
14:40 -15:00 Ｘ線反射率データ例③ ナノドット 奥田浩司（京大）
15:00 -15:10 休憩
15:10 -15:30 Ｘ線反射率データ例④ ガラス転移・接着界面 桜井健次（物材機構）
15:30 -16:00 Ｘ線反射率データ例⑤ 先端電子材料 川村朋晃（日亜化学）
実習は、A. 実践コース (6名まで 数年以上の経験のある方向け 担当 表和彦）、
B.体験コース (12名まで 初心者もしくは経験１～２年の方向け 担当淡路直樹)、
C. 実演見学コース （12名まで 初心者もしくは経験１～２年の方向け 担当
桜井健次）に分かれて実施します。
A. 実践コース (担当 表和彦 ６名まで)
（検討したい実験データと ご自分のＰＣを必ずお持ちください。皆様の解析上
の疑問点や不明点を個別指導致します。ご自分のデータをご自分で解析されたい
方のみ参加できます。）
B. 体験コース（担当 淡路直樹 １２名まで)
（ご自分のＰＣ(Windows)をお持ちください。実データの解析を体験して頂きま
す。講師が提供するいろいろな問題を考えて頂き、その解決を体感することで、
データ解析のコツを習得できます。ソフトウエアとデータは講習会の数日前にダ
ウンロードできます。）
C. 実演見学コース （担当 桜井健次 １２名まで）
（講師が皆様の前でソフトウエアを使い、２～３の実データを例を素材として、
シミュレーションを丹念に行うことの重要性やデータ解析の考え方、個々の細か
な手順、注意事項を解説いたします。）
実習コースはA, B, C のなか からお選びいただきます。特にご希望のない場合
も、個別にお話をうかががい、ご相談の上、最適のコースを決めさせて頂きます。
なお、当日になってからのコース変更はできません。ご注意ください。
教材
「Ｘ線反射率法入門」（講談社、5940円）を参考書として配布するほか （ご希
望があれば、着払い宅急便にて事前送付も致します）、すべての講義に完全対応
したレジュメを用意いたします。
定員
３０名
参加申込み
氏名（ふりがな）、所属、住所、TEL、FAX、e-mail、 実習コース（A, B, C）の
ご希望をご連絡下さい。折り返し受付の連絡をいたします 。
国立研究開発法人物質・材料研究機構
量子ビームユニット 高輝度光解析グループ
桜井健次
TEL 029-859-2821 FAX 029-859-2801
