第３回講習会（May 22, Tsukuba）
来月に予定している講習会の案内です。
第３回講習会「Ｘ線反射率法による薄膜・多層膜の解析」
http://xray-neutron-buried-interface.jp/TutorialXRR2009.htm
主催 (社)応用物理学会 埋もれた界面のＸ線・中性子解析研究会
（http://xray-neutron-buried-interface.jp/）
日時 2008年５月２２日（金）
場所 （独）物質・材料研究機構千現地区
（〒305-0047 茨城県つくば市千現 1-2-1 電話 029-859-2000）
http://www.nims.go.jp/jpn/visiting/tsukuba.html
最寄り駅 つくばエクスプレス線 つくば駅 南へ徒歩８分
http://www.mir.co.jp/
Ｘ線反射率法は、薄膜・多層膜の深さ方向の内部構造、具体的には、各層の膜厚、
密度、各界面のラフネス等を非破壊的に求めることができる解析技術です。本講
習会では、Ｘ線反射率法の経験豊富な専門家を講師陣に迎え、基礎から丁寧に解
説を行うとともに、シミュレーションやデータ解析の実習を少人数のグループに
て、きめ細かく行ないます。 休憩時間には「Ｘ線反射率相談デスク」を設け、
日頃の疑問に思っていること、質問したくてもなかなかできなかったことに、７
名の専門家がお答えします
