2016年11月21日

2017春シンポジウム(3/16 横浜、薄膜・多層膜の界面イメージング)

2017年春の横浜での応用物理学会に際し、シンポジウムを提案していたところ、正式に開催が承認、決定されました。一般講演も募集しますので、ぜひ積極的なご発表をお願いいたします。

なお、来春の応用物理では、7.4 量子ビーム界面構造計測は、他の中分類(例えば 7.1 X線技術など)も全部ひっくるめた 7.ビーム応用 全体の合同セッションとしてプログラム編成される見通しです。

○シンポジウム名称 「薄膜・多層膜の界面イメージング」
○開催日      2017年3月16日(木)
○企画の趣旨
薄膜・多層膜の機能は、その膜構造、界面構造に左右されることが多く、構造を評価、検証する技術は不可欠である。これまでの研究では、断面TEMの画像を解釈することが多かったが、それに加えて、非破壊的で定量的な方法が求められてきた。断面TEMとほぼ等価な情報を数値として非破壊的に取得するX線・中性子反射率法は有望であるが、標準的な方法では、広面積試料全体を代表する情報のみが得られ、機能の差異が試料内の一部で生じる界面構造の差異によって生じていても、それを検出することができない状況にある。このような界面構造情
報のサンプリングの問題を解決するためには、試料上の差異を画像として取得し、構造が異なる地点を特定することができるようなイメージング機能を持つ新技術が求められる。そこで、本シンポジウムでは、表面や埋もれた界面におけるX線、中性子などのビーム技術を駆使し、薄膜・多層膜の界面イメージングモデルフリー解析等の現状と課題を議論し、今後の研究の方向性を模索する。

○招待講演者(6名)
(1)高橋幸生(阪大)「マルチスライスX線タイコグラフィ:埋もれた界面のナノイメージングへの展開」
(2)矢代航(東北大)「X線による表面・界面構造解析の新たな展開 ― X線の位相を利用したイメージング法との融合」
(3)Jinxing Jiang(筑波大) Visualization of buried interfaces by X-ray reflectivity imaging
(4)若林裕介(阪大)「ペロブスカイト酸化物超薄膜の自動構造解析法開発」
(5)福村知昭(東北大院理)「薄膜材料の蛍光X線ホログラフィー」
(6)関澤央輝(電通大)「固体高分子形燃料電池電極触媒の時間空間分解放射光計測」